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什么是微流量計？

微型流量計是一種可以測量很小流量的流量計，就液體而言，可以測量流量低于每分鐘升的流體的流量計稱為微型流量計。但范圍較廣，有微型流量計可以以微升（0.001毫升）/分鐘為單位測量流量。

微型流量計的測量方法根據(jù)制造商的不同而有所不同，并且隨著它們在測量穩(wěn)定性、可測量的流體粘度范圍以及可測量的最小流量方面的競爭，微型流量計的性能日益提高。

微型流量計的應(yīng)用

微型流量計的應(yīng)用包括需要精確處理少量化學(xué)品的化工廠、食品廠和制藥廠。在這些工廠中，持續(xù)定量地供應(yīng)少量化學(xué)品會影響產(chǎn)品的質(zhì)量，因此對微型流量計的需求非常高。

另外，為了進(jìn)行透鏡拋光工作和硅片拋光，需要定期供給極少量的拋光劑，因此這些任務(wù)中也少不了微型流量計。

微型流量計原理

測量分鐘流量的方法有多種，并且新的測量方法仍在開發(fā)中，但以下三種方法是典型的。

• 風(fēng)速計法這種方法通過加熱器將
  液體流加熱到一定溫度。如果流量大，則從加熱器帶走的熱量就大，需要較多的功率來使加熱器保持恒溫；反之，如果流量低，則需要的功率就少。風(fēng)速計方法測量該電能的流速。
• 量熱法
  在該方法中，將兩個溫度傳感器放置在流體的上游和下游，并在傳感器之間安裝加熱器。傳感器之間存在加熱器，會在上游和下游流體之間產(chǎn)生溫差，并測量該溫差。換句話說，流速越快，上下游溫差越小，反之，流速越慢，溫差越大，從而可以測量流速。
• 飛行時間 (TOF) 方法
  此方法在流體上游安裝加熱器，在下游安裝溫度傳感器。當(dāng)上游加熱器加熱的液體到達(dá)下游溫度傳感器時測量溫度并測量流量。