測(cè)量方法

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測(cè)量方法主要分為三種類(lèi)型。這些是“檢測(cè)壓力本身的方法”、“利用氣體傳輸現(xiàn)象的方法”和“利用氣體中的電離現(xiàn)象的方法”。

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利用氣體傳輸現(xiàn)象的方法

熱傳導(dǎo)真空計(jì)是利用氣體傳輸現(xiàn)象的真空計(jì)。這是利用氣體的熱導(dǎo)率根據(jù)壓力而變化的特性的真空計(jì)。

熱傳導(dǎo)真空計(jì)有多種類(lèi)型，包括皮拉尼真空計(jì)、熱敏電阻真空計(jì)和熱電偶真空計(jì)。關(guān)于熱傳導(dǎo)真空計(jì)需要注意的重要一點(diǎn)是，在高真空下，熱輻射的影響變得大于熱傳導(dǎo)的影響。因此，熱導(dǎo)真空計(jì)的缺點(diǎn)是不能用于高真空測(cè)量。