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真空計(jì)的測(cè)量范圍

壓力分為低真空、中真空、高真空、超高真空等真空度，根據(jù)真空計(jì)的類型不同，測(cè)量真空度也不同。根據(jù)JIS（日本工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)），真空度根據(jù)壓力范圍分為如下所示的五類。皮拉尼真空計(jì)可以測(cè)量低真空到中真空，電離真空計(jì)可以測(cè)量中真空到超高真空。

• 低真空：10?5?Pa～10?2?Pa
• 中真空：10?2?Pa～10?-1?Pa
• 高真空：10?-1?Pa～10?-5?Pa
• 超高真空：-5?Pa至1?0-8?Pa
• 極高真空：10?-8?Pa以下