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什么是皮拉尼真空計?

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什么是皮拉尼真空計?

皮拉尼真空計

皮拉尼真空計是一種利用電阻來測量真空度的傳感器。

皮拉尼真空計裝置體積小、攜帶方便、操作方便,因此在很多場合用于測量真空度。皮拉尼真空計也稱為皮拉尼真空計或簡稱皮拉尼。

皮拉尼真空計的特點是結構簡單、成本低廉。當探頭安裝在測量環(huán)境中時,流向探頭的電流根據(jù)真空度而變化,從而可以測量真空度。一般來說,皮拉尼真空計由控制器和探頭組成,測量范圍約為0.5Pa至2KPa。

原則上,接近測量范圍下限時精度會降低,因此在壓力值很重要的測量中需要使用其他真空計。還有一些皮拉尼真空計,其中探頭和控制器可以分開。有些真空計只能在測量范圍內(nèi)使用,如果在該范圍外使用就會損壞,但皮拉尼真空計很有吸引力,因為它可以在大氣壓下工作而無需擔心。

皮拉尼真空計的應用

皮拉尼真空計用于需要真空達到控制的腔室、連接到石英管的流體回路以及需要表面清潔度的地方。具體來說,它常用于中真空區(qū)域的測量。

中真空區(qū)域是使用油回轉真空泵可以達到的真空狀態(tài),例如測量碳氟化合物氣體的吸入量時。皮拉尼真空計常用于高真空至超高真空抽氣系統(tǒng)的粗抽生產(chǎn)線以及高真空泵的背壓生產(chǎn)線。

然而,顯示值根據(jù)氣體的類型和成分而變化,因此需要提前進行充分的校準來測量絕對壓力。皮拉尼真空計還用于在物理和化學實驗、真空蒸發(fā)、冷凍干燥、醫(yī)療設備、分析儀、激光應用設備、真空排氣設備、半導體制造設備的等離子蝕刻空間以及電子顯微鏡的真空包中創(chuàng)造真空條件。它還用于測量,例如

皮拉尼真空計原理

皮拉尼真空計是一種電阻真空計,可根據(jù)氣體與攜帶電流的鉑絲碰撞時耗散的熱能來計算電流。這意味著壓力是從當前值向后計算的。這個微小的壓力直接對應于真空度。

皮拉尼真空計的探頭內(nèi)部有一根極細的鉑絲,通電將其加熱到200度左右。當空氣撞擊到這根鉑絲時,熱量就會從鉑絲上被帶走,為了將鉑絲的溫度維持在200度,控制器給了鉑絲更多的功率。

反之,如果沒有氣體分子撞擊鉑絲,則只需少量的電量即可將鉑絲的溫度維持在200度。通過測量供給鉑絲的電量的變化,可以測量測量環(huán)境的真空度。

此外,為了保持皮拉尼真空管的精度,鉑絲的管理也很重要。鉑絲會隨著反復通電而磨損,達到200度比新時需要更多的電量,所以需要定期更換。另外,鉑絲上附著的灰塵會影響測量精度,因此定期清潔是必要的。

有關真空計的其他信息

真空度的定義

壓力分為低真空、中真空、高真空、超高真空等真空度,皮拉尼真空計可以測量從低真空到中真空。根據(jù)JIS(日本工業(yè)標準),真空度根據(jù)壓力范圍分為如下所示的五類。

  • 低真空:10?5?Pa~10?2?Pa
  • 中真空:10?2?Pa~10?-1?Pa
  • 高真空:10?-1?Pa~10?-5?Pa
  • 超高真空:10?-5?Pa 至 1?0-8?Pa
  • 極高真空:10?-8?Pa以下
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